一种硅片插片用硅片缓冲装置[实用新型专利]

来源：花图问答

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种硅片插片用硅片缓冲装置专利类型：实用新型专利发明人：张志康,吴洋洋,丁贵英申请号：CN201820010492.6申请日：20180104公开号：CN207719228U公开日：20180810

摘要：本实用新型涉及一种硅片插片用硅片缓冲装置。在以前的插片过程中，没有硅片缓冲装置，使得硅片插入片篮时容易和片篮的内壁碰触，造成崩片、划片等情况，给硅片造成不可恢复的损害，大大降低了硅片的合格率，造成时间和财产的损失。本实用新型涉及一种硅片插片用硅片缓冲装置，其中：插片机机架上一侧安装有硅片输送带，硅片输送带一侧设有提升模组，提升模组固定于插片机机架上，提升模组由升降电机、丝杆传动模组、提升平台组成。本装置采用增加硅片缓冲装置的方式，使硅片插进片篮中先与缓冲装置中的橡胶垫接触，橡胶垫能很好的吸收硅片插入片篮时的动能，有效的保护了硅片，提高了硅片的合格率。

申请人：江西宝群电子科技有限公司

地址：330000 江西省南昌市高新技术产业开发区高新七路192号

国籍：CN

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