专利名称：线上薄膜处理装置专利类型：发明专利发明人：洪瑛
申请号：CN201980021269.9申请日：20190305公开号：CN111902925A公开日：20201106
摘要：所公开的薄膜处理装置包括：喷头，用于执行对沿输送轨道移动的基座上的衬底的薄膜处理；一或多个输送器，用于支撑基座，其中输送器可在相对于轨道浮动且不接触轨道时沿输送路径输送基座，且还可控制基座的高度以便调整从衬底到喷头的距离；以及输送器控制系统，用于控制输送器。
申请人：洪瑛
地址：110036 辽宁省沈阳市皇姑区黄浦江街21号1-12-3
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：何冲
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