一种液氮冷头控温装置

来源：花图问答

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201210124582.5 （22）申请日 2012.04.25

（71）申请人常熟市虞华真空设备科技有限公司

地址 215500 江苏省苏州市常熟市虞山高新技术产业园深圳路70号

（10）申请公布号 CN102662419A

（43）申请公布日 2012.09.12

（72）发明人戴建新

（74）专利代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)

代理人柏尚春

（51）Int.CI

G05D23/19;

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

一种液氮冷头控温装置

（57）摘要

本发明公开了一种液氮冷头控温装置，包

括冷头、液氮罐、液氮进口和液氮出口，在液氮罐的上端设有隔稳屏蔽层，所述隔稳屏蔽层和液氮罐之间设有一组加热组件。加热组件为电加热丝，采用温控仪通过PID自动方式控制温度。液氮罐采用双层屏蔽罩，由镜面不锈钢板制作而成。这套装置有以下几点好处，使用循环液氮的液位高度来实现温度控制，效果明显且易于操

作；运用液氮来实现温控的性价比较高，大幅度节约了成本；电加热器采用PID方式控制，可控性较高。

法律状态

法律状态公告日

2012-09-12 2012-11-07 2014-12-10

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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