半导体少子寿命测量
实验内容与目的
1. 采用高频光电导衰退法测量单晶硅片的少子寿命。并观察光源经滤光片滤光后测试曲线的变化。
2. 加深学生对半导体非平衡载流子理论的理解;学会使用高频光电导测试仪和示波器来测量半导体少子寿命。
实验仪器与原理
1. 采用自制的HM-HLT型高频光电导少子寿命测试仪和示波器进行测试。
ptp0e2. 对硅片上施加光注入,光照停止后,非平衡载流子衰减:是非平衡载流子浓度减少到初始值的1/e倍所经过的时间。
t,寿命
实验步骤
1. 将测试仪与示波器连接,待测Si片放入样品仓,打开示波器电源,示波器的“输入”旋钮放在交流,“扫描方式”旋钮放在自动,调节“位移”旋钮,使光标成为一条直线,
与显示屏上的标准曲线的横轴相重合。
2. 打开少子寿命仪电源,调节“频率调节”、“光强调节”旋钮,频率约在1-2HZ,光强旋钮约为230V。在测量时,如果图形曲线发生截波失真现象则应将光强幅度减小。
3. 调节示波器,先将“扫描方式”旋钮放在常态,对示波器显示系统进行粗调,主要调节“电压/格”,“时间/格”旋钮,并用“电平”旋钮调整,将荧光曲线调节到与标准曲线吻合。
4. 最后用“电压/格” 旋钮的微调使荧光曲线与标准曲线完全重合,如遇图形曲线有杂波,可以通过继续微调“电平”旋钮来改善图形的质量。记录示波器的“电压/格”,“时间/格”值。
5. 观查在硅片上叠放滤光片与不叠放滤光片时,示波器显示曲线的变化。
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