基于磁通门技术的转子位置传感器设计

计一款基于磁通门技术的新颖转子位置传感器，能够 高 的转子位置信息。通过有的径向充磁磁源的空间磁计的

％分析说明了磁通门 的工 、工特性以及磁场强度的探

装位置，最后通过

；径向充磁围，对磁通门编

分析，并确定了磁通门 磁通门编

关键词：磁通门；编码器；永磁同步电机；有

中图分类号：TM35I ； TM34I ； TM359. 9: TP273 文献标志码：A 文章编号：1001-848(2020)03-084-9Design of Rotor Position Sensor Basee on Fluxgatr TechnologyZHOU Junhong1，FAN Zhihua1，HUANG Jingjing1，LIU Na2(I. SchooO eg Electricae and Powes Engineering， China UnOers^ty gg Mining and Technology， OuzZou Jiangss

22III6， China ； 2. Institute og Electronics，Chiness Academy og Sciencc， SkzZou Jiangss 215000， China)Abstract: Fluxges sensors are used in ths design of magnetic encoders with ths advantagss of high precision and Kupeeooeloneaepeetoemance.When deovongPMSM， theacquootoon ottheeotoepoKotoon ontoematoon othe

key.In thelow-Kpeed opeeatoon， thepoKotoon KenKoeleKdeovongtechnologyand theexotongKenKoehavelaege

eeoe， whoch beongKdotocultoeKtotheKtabledeovongotPMSM.ThopapeedeKogned and omplemented anovel eotoepoKotoon KenKoebaKed on tluxgatetechnology， whoch can peovodehogh-peecooon eotoepoKotoon ontoematoon.

In thopapee， thetonoteelementmethod waKuKed toanalyeethewoekongpeoncople， woekongchaeacteeotocKand

magnetoctoeld Kteength detectoon eangeotthetluxgateKenKoe.TheKpatoalmagnetoctoeld ottheeadoalmagnetoeong magnetocKoueceotthetluxgateencodeewaKanalyeed， and theonKtalpoKotoon otthetluxgateKenKoewaKdetee- moned.Fonaly， thedeKogn and peactocalotyotthedeKogn weeeveeotoed bymakongatluxgateencodeepeototype.

Key wordt: tluxgate； encodee； PMSM； ton ote element method； eadoalmagnetoeatoono引言年来，永磁同步电机（PMSM）得到了较多的 研究， 广泛应用到各个领域中，并逐渐成 :不佳，且控算 ，无法保证转子位置 的确性（2-）。故 高性能的PMSM控制系统中，位置仍不 取代％磁编 电编 相比，具有 单、 高、寿命长等优点，可应流 伺服领域的主流PMSM的 控制系统中，电机转子位置信息成 控制PMSM不可的 。近年来，研究 对无位置 ［器技术 大量的研究。该技术对电机 高，低

于振动、 、 恶 境下，尤 特殊领域（ 空天）中有着非常重要的地位，发景和研究价值很高［4-5］ %本文基于磁通门技术设

计了一 的转子位置 一种灵敏度高、 好、

条件下难以对电机 控制，I，磁通门 是磁场的 i收稿日期：20I9—07—03, 日期：20I9 —I0 —I6基金项目：江苏省研究生科研与实践创新计划项目（KYCXI9_ 2I9I）；中国矿业大学研究生科研与实践创新计划（ZG - KDI9

2I9I）。作者简介：周俊鸿（I996）,男，硕士研究生，研究方向为 电机的设计与控制。志华（I993）,男，硕士研究生，研究方向为 电机的设计与控制。黄晶晶（I995）,女，硕士研究生，研究方向为 电机的设计与控制。刘 娜（I993）,女，硬件工程师，研究方向为 $3期周俊鸿等：基于磁通门技术的转子位置传感器设计-85 -g]，并逐渐向小型化、简单化方向 [9-14],未

将是霍尔 磁阻 强别为：来集成磁通门 大的竞争者[15]%{DX # =H (t) +D IH\"# =H (# _D1(2)( 11基于磁通门的磁编码器1.1磁通门编码器结构心 周期性的过 状态时，铁心的磁3所示。导率不 常数，磁导率的变化

本文设计的磁通门式磁编 由一个建立空间

磁场的辅助永磁体、两个磁通门探 硬件电路组

成， 1所示。两个磁通门探 空间位 置上相差90。放置于永磁体的上方％硬系 磁通

门探 取磁通门探头输出信号中的二波信号，转成与磁场强度成 的直流电压

图3周期性过饱和状态下的铁心磁导率信号。 永磁体随着电机运 转时，磁通 门硬件系统输出两路与旋转 余弦关系的电 压信号，从 电机转子位置。永磁体周期性过 状态下铁心的磁导率为\"(#，式(2)中，D(#为一个铁心内部磁场，H\"\"# 一个铁心内部磁场。磁通门传感器感应线圈上的感应

电压»e# = -!S (d\"(#H(小 +!S d(\"(##\"小

dd(3#

图1磁通门式磁编码器工作原理图式(3)中，\"X#和\"\"#分别为两个铁心的磁导率 函数％信号产生的磁场方向是周期性变化的，但

1.2 磁 编码器结磁通门 上分为单铁心 与 ：心 ，单心磁通门输出信号含有大量的与外磁

磁导率没有正负之分，即磁场正反两个方向的激磁

产生

磁导率的变化， 故磁导率变化的 率是磁，为时间上的偶函数，将磁导率 级 ，如式(4)。“\"# =\"0e +“2”cos4 !aX 场频率的

场无关的谐波，而与磁场有关的谐波含量很小， 信噪比小。 心 的磁通门可有效的抑制无用+\"”cos8 !aX +(4)信号， 有 信号的含量，增强信噪比％本文采\"eCOS12 !aX +…=

”!\"2” xeCOS心结磁通门

2所示。， 心磁通门 示意4”!1#磁场的 ，使得个铁心的

不一致，导致 心的磁导率的变化有所

程度％将式(1)式(2) 式(3)， 将\"XX \"'(X得：e(t) = - !2SHA2!—图2双铁心磁通门结构示意图 !\"X” =0XEa/!.faX - sin2!1--2中，两个心的 线圈匝数相 Y为

” =0!\"\"\" cos4”\"。- • sin2!1-)-!， 应线圈匝 !， 心 积为S，磁导率为\"。激励线圈通入交流电流，在两个铁心上产

生大小相 向相反的内磁场D (-),电D1 ( # =HnSin(2(1 )

cos2!仁1 - ( ” =0!4”！1\"2”'”sin4”！1 -”=0! 4”!/>\"\"” =0nXm sin4 ”！O] +式(1)中，Dm 磁场D1 (-)的 ％无外磁场 ，由拉第感应定律

，两!SH0fa ! 4«” =0!/A，2„x„sWn4mfca +n4!fca个铁心内的交变磁场

有外磁场D

应线圈上产生的感应电压大小相等，方向相反，故无信号输出。， 时 心内部的磁场分!2SH0fa ! 4”！\"'2”'”si(5#・86・微电机53卷式(5)中，\"X Xm \"2” 'm 心磁导率的傅磁场的 线 ， 4 中的 部分所示%里叶分解项的系数％ 互叠加。一

的

心 中，与外磁场无关1J85的饱和磁感应强度Be为0. 6 T饱和磁场

的电压信号相互抑制，与外磁场有关的电压信号相 强度H为800 A/m，在环形磁通门结构中，可根据 安培环路定律计算铁心达到饱和状态时所施加的

的外磁场的强度远小于铁心的饱和磁场强度，故个铁心 磁场后的总磁场较小，予\"电能%NI = HL

较小，即 心的磁导率 化为：(7)化分析，

(t)， 式(5)

心磁导率的变化一致，

式(7)中，当铁心达到饱和时，磁场强度H为 800 Abm% 4 中 合磁路 72 mm，铁心的 2.1.1

e( t) = 2N2SH0fc n =0! 4n!\"n2'm/n4n!fe (6 )线圈匝数共为110匝％由此可计算 心周期性饱和电流I约 0024 A%无外磁场情况下，在磁通门的激励线圈中施加

从式(5)中可以看出，外磁场H与磁通门感应

电压的 线 相关，

根式(5) 分解项中可以看出在感应电压中

二 波的

大的分量即为二 波，故本文 二 波法对感应电压中的

频率为10 kHe正弦电压

大于 电流 Ze% 一 ，使得产生的 电流电流产生的磁场取从而计算得出外磁场强度%值为槡H”时，磁通门的输出特性最佳[i6-i7] %在仿真

时间t =25 \"处磁通门

2磁通门编码器有限元分析2.1磁通门传感器有限元分析的铁心的磁感应强度云5 ( b)所示％可分 5 ( e)所示，环形 心内部磁场分布较均

匀％ 应线圈的感应电压波形 ，

为了验证磁通门传感器的工作原理以及对其特 分析， 本文 AnsottMaUwel 对心磁通门探 心磁通门的铁心

有 磁场的情 下， 心 周期 过状 时， 形 磁通门 心的 应电压相互有

％；抵消，

，本文选乎 ，与 分析一致％较少的能量达到

用闭合的环形双铁心磁通门结构。在Ansoft Maxwell

中建立的磁通门探

4所示。的二维模型分别(a)环形结构磁感应强度云图Winding Plot 4

1-铁心，2-激励线圈，3-感应线圈，4-外磁场辅助线圈图4磁通门探头二维模型4中， 部分为磁通门 的铁心部分,的软磁

心 选用的是高磁导率、低 -图5无外磁场时铁心周期性过饱和带 合金1J85， 心 2 mm%本文建立的环形

00 mm，宽度给外磁场辅助线

大小[i8-i9]%

Y

电流 ，模拟外磁场心磁通门长为30 m叫55匝；红色的 ，一磁场的大小要小于铁心 磁场的f总宽为10 mm,为2 mm%图4中的黄色部分为激励 向的外磁场的强 6(e)所示％

线圈， 个心 线圈匝 24. 8 仿真时间t=2 \"时，磁通门铁心内部磁

部分 应线圈， 应线圈的匝

置 400匝％ 抑噪声，线圈的匝数之比不宜过大，感应强度云图分 ， 形磁通门 心磁场分 不 % 磁场 时，心磁场方线圈的匝 根 大％

情 ，设置的自由度很一定的时间范围内，环形磁通门

拟外磁场的 ， 中 产生外向与外磁场方向相同，其内部磁场与外磁场相互叠

3期周俊鸿等：基于磁通门技术的转子位置传感器设计-87 -加，而右边铁心磁场方向与外磁场方向相反，其内

部磁场与外磁场相互抵消，所以 心的磁感应

由磁通门 的数学 ，磁通门输出的电压 大量的谐波％对上述 中的感应电压

强度大于 心的磁感应强度。铁心内部磁场强度随着时间的变化而变化，导致左边铁心提前进入

状态，

心落后于

进行谐波分析，结果分别如图6(O所示％由图6(-)， 形磁通门的感应电压 偶 波，没有

奇 波％无用的奇次谐波相互抵消，偶 波相 互 ，进而大大地减 对有用谐波的提取 ％ 2.10环形 心磁通门工作特性心 状态%电流方向变化时，即 心内部建立的磁场反向，此时会出 铁心磁场强度的情况％个

心磁场强度大于确定磁通门探 探头的工作特

，对形 心磁通门分析％在上述 的 7所示％时间中，磁通门感应线圈的感应电分析％由 6压分

(b)

6(b)所示％接下来以一个电源周期(0~上， 磁场强度不变，改变激励电源的频率,电源频率与磁通门输出的关系

100)\"对环形磁通门

，仿真时间在(16.5-35.5)\"时间范围内，心 先

状态。铁心的磁导率不再是常量，而是随时间变化的变量，感应线圈 产生感应电压。在(350 ~50)\"时间范围内，铁心

退 ，感应电压急剧下降 时间 围 ，

的 心

电压％在50\"状 ，处，激励电源的方向开始反向。在(660~850)\"

心被反向磁化，但心的磁导率是个

应电压一致％B [tesla]H. 79H1E-002I. H7H6E-002 •».1551E-002 3.8355E-002 3.5160E-002 3.1965E-002 2.8769E-002 2.557HE-002 2.2379E-002 1.9183E-002 1.5988E-002 1.2793E-002 9.S973E-003 6.4020E-003 3.2066E-003 1.1383E-005，图7电源频率与感应电压关系故感应线圈的感应电压与(16.5 - 35. 5)\"时间内的

表明，感应电压的大小与所施加的电

源频率的大小成

，与理论推导一致％磁通门探磁场的灵敏

敏度％

电源频率也成 ，所以大电源 率会 磁通门 的输出电压中， 信号的频率与铁心中产生涡流的大小成正相关％涡流越大铁心的有效面积越小，

即 效应越严重，该情况会

率为10 kHz的

磁通门信号的输，最出％经过反 ，并考虑硬件电路设计 计的自由度很大％终本文选 信号％从以上分析电源频率与幅值不同大小的电流源，8(a)(a)环形结构磁感应强度云图，磁通门探 不变，给外磁场

确定电源频率之后，

线

建立不同强度的外磁场，磁通门输出电压

所示，外磁场强 对这 应电压

(b)环形结构感应电压大，磁通门输出的电压越大%波分析， 8 (b)、(c)、(d)、( e)所示，感应电压包含大量的偶 1波，且不包含奇次谐波， 但

大量的奇 大，且四

推导一致％中，由于铁心贴片难以保证完全对称，也有所 ， 磁通门输出电压 是会 含

波％当磁场强度较小的情况下，如图8(b)所示，感应电压中二 波和四 波含量最波幅值大于二 波； 磁场强度(C)环形结构感应电压谐波次数增加时，二次谐波的含量逐渐增加，如图8 ( c)、 ( d)、 ( e) 所示， 终二

波含 随

图6有外磁场时铁心周期性过饱和磁场的-88 -微电机53卷加逐渐大于 偶次谐波含量%由 波含

,二次谐通过 得到二次谐波的 磁场强度关磁场的大小成一定的比例关系，故一般系如图9所示，当外磁场的磁感应强度大于700\"T

0 25 50 75

100 125 150 175 200t/s(a)外磁场强度与感应电压的关系谐波次数/kHz(b) B()=24.8 rT谐波次数/kHz(d) B„=74.4|xTiiiniiniiiii 皿叩iiii0

10

20 30 40 50谐波次数/kHz(e)B”=99.2»T图8外磁场强度对磁通门输出的影响小于868 \"T时，二

波的

随磁场强度的增缓 ；

磁场的磁感应强度大于868 \"T时， 二 波的 不 随 磁场强 的，反而有减少的趋势； 磁场的磁感应强度大于100 \"T且小于700 \"T时，二次谐波的幅值与 磁场强度有较好的线性关系％0...0124 248 372 496 620 744 868 992

外磁场大/|Vx10-6T图9二次谐波幅值与外磁场强度关系2.2磁源的有限元分析本文研究了永磁体不同空间位置处的磁场强度 分布情况，以确定磁通门探头合适的安装位置％以

直径为11 mm、厚度为3- 5 mm的圆柱形钱铁硼永磁 体为例，在有限元软件Maxwell中建立其3D仿真模

型，研究永磁体空间磁场的分布情况％本 中永磁 向充磁方式为永磁体充磁，并定义Y轴正方向为充磁方向％永磁体内部 磁感应强度分布云图与磁感应强度矢

分，图10 ( a)、( b)所示％

,磁场方向沿着Y

方向，并向四周发散。距永磁体上表面d = 1 mm、半

径+ = 4 mm的圆周处的磁感应强度矢量图如图

10 ( C)所示，可知圆周上的磁感应强度各不相同,

有一 的磁场强 向 上， 一 的磁场强

向下％圆周上 Z

向的磁感应强

1图10(d)所示， 磁 应强度与 关系,良好％ 通过

向的磁场强度辨识永磁体相对于磁传感器的角度位置，左

电机转子位置％通过上节的仿真分析可知，本文设计的磁通门

探头可检测的线性磁场强 围大约为±( 100 -700) \"T%然而图10 ( O)所示磁场强度幅值明显超

过磁通门探头可检测的磁场强 围％本 下来分析 永磁 上表 不同位置 的空间磁场分 情

，以将磁通门探

装在合适磁场强度位置上。3期周俊鸿等：基于磁通门技术的转子位置传感器设计・・B tesla]0.0030.0010.000(a)内部磁感应强度分布云图-0.001-0.0030125 250375角度/(° )(b) r=12mm不同d时的圆周处Z轴正方向磁感应强度图11不同空间位置磁感应强度(b)磁感应强度矢量图B [tesla]3磁通门编码器实验分析3.1磁通门传感器的制作031HE-0010132E-0019502E-0027682E-0025863E-0824044E-0022225E-0020W06E-0028587E-0026768E-8024949E-0023130E-0021310E-M29H91E-0027672E-0025853E-002(c) /=lmm、r=4mm圆周处磁密分布磁通门探头一般包括铁心、线圈和支撑铁心和 线圈的 ％通过对磁通门的工

分析可知,磁通门的铁心 周期性的 过 状态，所以要反复磁化铁心 ，这就 心％综上0.20o

退磁。 减 磁 由于被反复磁化与退磁带心具有很小的

来的磁滞损耗，

o.翹專宦®遛

所述，磁通门 导率、低

带

所用的铁心 具有高磁周上 Z 向的磁感应强 11 (a)所示。本文 研究磁通门 转子位置的方法,对 的体积不作研究。本文选 r = 12 mm的圆周，研究磁通门探头相对永磁体不同轴向 ；的磁感应强度，以确

上表面不同

向的磁感应强 11 ( b)所示。根,本 计可将磁通门探 装 永磁体上表面约35 mm、

0.201700的特性。本文选用满足上述条件的合金1J85 磁 ，铁心的 丢为12所示。0- 1 mm,饱和磁感应强度为0. 6 T，产品具体的参

数如表1所示，铁心 的

表1坡莫合金材料属性名 称参图10径向充磁磁钢磁感应强度分布图产品编号1J850. 10.6T永磁体上表面d = 1 mm、不同半径r的圆

厚度/mm磁 应强饱和磁场强度/A/m最大磁导率矫顽力'800400000. 012向安置位置。距永磁Z带状1J85材料没有足够的物理支撑能力，故需

d、 r = 12 mm圆周

要设计 宽为16 mm，

为 0. 5 mm%% SoFdworksf 计的铁心骨架模型如图13( a)所示。铁心骨架长为32 mm，

2 mm，凹槽宽为3 mm，深度约 12 mm的圆周上。0.100.00-0.10-°'2Oo125250375角度/(° )(a) d= 1mm不同r时的圆周处Z轴正方向磁感应强度图12 1J85实物图・90・微电机53卷将铁心材料1J85进行剪裁，然后贴于铁心骨架 永磁体和磁通门探头圭寸装在一起。辅助永磁体固定

的 ， 水固定，

激励线圈直

13 (b)所示。转轴上与永磁同步电机同轴连接，两个磁通门探

于铁心 的 ％

，屯于感应与应线 ：永磁体合适的位置。本 中，两个

磁通门探头中心点与

线圈的缠绕，设计感应线

铁心

永磁体中心点的轴向分 13(c)、(d)所示。感应线 约为4—i,径向

VF控

约为6 mm。在电机控 上采是配套 ，铁心骨架可插

2 mm。

式控制电机空载运行。当电机转 '15 (e)所示， 余信号。 示波的槽中。感应线

宽为25 mm，

总 35 mm，得

线的矩形槽，长500 r/min时，磁通门硬件电路输出信号Mpi和Mh2

的波形

的铁心骨架能够插入到感应线 中，设计的矩形槽的

3D

， Matlab 中 信号 ， 将信号宽 有一定的 与感应线

。一化并去除直流偏置，

,

atan2函 解170 mm,宽 3 mm。铁心 组15 (b)所示。 ，磁通门硬件电机打印，

)

耗选用机 能与路输出信号的 以及所求解 的线 ：均能良好的PLA(聚 良 好。图I3磁通门传感器骨架模型计完之后， 上缠绕激励线圈与感应线圈。 线总匝 110匝，选线。感应线圈总匝数为直 0. 29 mm的铜 线。

400匝，为便于 ，选直 00 mm的铜

线 应线圈的匝 根 情 ：，磁通门探头的

14所示。图I5电机转速为500/min时磁通门输出信号

与角度波形为便于信号处理，本文采用DSP自带的AD模

对磁通门硬件输出信号

图I4磁通门探头实物图。磁通门硬件电路输出信号Mei和％的幅值和直流分量的偏差既可 通过硬件电路 ，也可通过 。 于观察波形，

DA模块将AD

3.2磁通门传感器实验分析的 信号转换16所示。AD采在实验阶段，没有将磁通门式磁编码器的辅助成模拟信号 示波 察，

3期周俊鸿等：基于磁通门技术的转子位置传感器设计・91・的波形如图16(e)所示，可知两个信号存在幅

直流分量的

除直流分

，将信号 一化 〕>弓0。9)

8、

的波形 16 ( b)所示，求解的波形 16(c)所示。由图16(O可知， 波形的线 良好。0 0.1 0.2

t/s0.3 0.4 0.6(a) 5OOr/min(AHVO09W0 0.1 0.2

t/s0.3 0.4(a) AD采样波形0 0.1 0.2

t/s0.3 0.4 0.6(b) lOOOr/min0 0.1

0.2

t/s0.3 0.4(b)信号处理后波形0 0.04 0.08 0.12 0.16 0.2t/s(c) 1500r/min0 0.2 0.4

t/s0.6 0.8 1(c)角度波形图I6信号处理与角度求解0 0.04 0.08 0.12 t/s0.16 0.2当电机转速为500 /min、I000 /min、I500 /min、 2000 r/min时，经磁通门探头检测的电机角度分别 如图 17(a)、图 17 ( b)、图 17 ( c)、图 17 ( d)所示。(d) 2000r/min图I7不同转速下角度波形通过上述

的 磁通门探 范围。，磁通门式磁编码器角度输， 转 高， 于磁通门 ，误差越大。这是

的电机转磁通门探出稳定，线 良好。在中高速场合，可通过

子位置线

源的频率提高其进头的 率是 的，且不能无 的增加，故变化的磁场的频率也是有的。本文通入

磁通 门 探 的

33.33 He，

率 I0 kHe， 转；4结语本文设计并实现了一 于磁通门技术的 -

磁编 ，并通过有

说明了磁通门 ［器500 r/min时，辅助永磁体磁场的变化频率为

率是磁场变化 率的 300

转速为2000 r/min时，激励频率是磁场变化频率的

75

工作原理，并根 选 磁编 的。可见，转

的

高磁场变化频率越快，磁通门％磁通门铁心 ； 本文还对磁源的设计进行了位置 详细的分析，对 充磁方式的 永磁 空・92・微电机53卷间磁场分布研究，进而找出磁通门探头合适的安装

id-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, IEEE,

2007： 2585-2588.位置。 通过 证明本文所设计基于磁通门的％本文所制磁编 的 ，并通过基于id =0的电机控制实 验证明了本文所设计磁编码器的

[10 ] Wu P M, Chong H A. Design cf a Low-Eowcr Micromachined Flux-

gatc Senscr Using Localized Coro Saturation Method[ J]. IEEE Sen­

sors Journal, 2008 , 8(3 ) : 308-H3.的磁通门

本文对未来位置

较为粗糙，但依然能良好的具有非常好的 计

[11] Zorlu O, Kejik P, Teppan W A, Closed Coro Mic/Wuxgate Senscr

with Cascaded Planar FeNi Rings[ J]. Sensors & Actuators A Physi­

完成工作，故磁通门编 ，路，具有良好cal, 2010, 162(2) : 241-247.[ 12] Lu C C, HuangW S, Lou Y T, eiae.DeKogn, Fabaocaioon, and

Chaaacieaoeaioon ooa3-D CMOS FeuxgaieMagneiomeiea[ J] .IEEE

的参考价值％参考文献[1] 倪启南，杨明，董翔，等.基于霍尔位置传感器的PMSM转速

TaanKacioonKon MagneiocKMag, 2011, 47(10) ： 3752-3755.[ 13 ] Lu C C, Lou Y T, JhaoFY, eiae.ReKponKoeoiyand Nooeooa

Woae-bonded CMOS Mocao-oeuxgaieSenKoa[ J] .SenKoa & Aciuaioa

APhyKocae, 2012, 179(3)： 39-43.观测器状态估算误差抑制方法]J].电工技术学报，2017, 32

(17)： ID98.[14] 潘启军，马伟明，赵治华，等.磁场测量方法的发展及应用

[2] 朱军，韩利利，汪旭东.永磁同步电机无位置传感器控制现状

与发展趋势[J] •微电机,2013, 46(9)： 11-16.[J]. 电工技术学报, 2005, 20(3)： 7-13.[15] 杨尚林，刘诗斌，郭博，等•铁心参数对磁通门输入输出特性

影响分析[J] •传感技术学报,2014, (1)： 40-47.[ 16] MoyaiaH, YamamoioR, MoaomoioY, eiae.ReeaioonKhop Beiween

OuipuiooaFeuxgaieSenKoaand Magneioeaioon PaoceKooIi Coae

[3] 刘计龙，肖飞，沈洋，等.永磁同步电机无位置传感器控制技

术研究综述[J].电工技术学报，2017, 32(16)： 76-88.[4] 廖红伟，杨晓非.磁旋转编码器的发展及其应用[J] •信息记录

材料，2003, 4(1) : 40-44.[J]. IEEE TaanKacioonKon MagneiocK, 2014, 50(11)： 1-4.[ 17] MuaaiaN, KaaoH, SaKadaI, eiae.FundameniaeModeOaihogonae

FeuxgaieMagneiomeieaAppeocabeeooaMeaKuaemeniooDCand Low-

[5 ] Zijian M，Qingyong C，Wu Z. Thc Development cf Maanetic Rota/

Encoder System Based on High Resistivity MR Film Senscr for Autc-

moboeeSpeed-measu ong [ C ] . Thod Inie4naioonaeConoeence on

Frequenco Maanetic Fields [ J ]. IEEE Sensors, 2018 , 18 ( 7 ): 2705-2712.Measu ongTechnoeogyand MechaionocsAuiomaioon， 2011 .[6] Robbcs D. Highly Sensitive MagneWmeWy-a Review[ J]. Sensors &

AciuaioasAPhysocae， 2006， 129(1)： 86-93.[ 18 ] LeeDW, EcsaM, GabaysA, eiae.Fabaccaicon and Peaooamanceoo

Iniegaaied Feuxgaie ooaCu aeniSenscng Appeccaicons [ J ] . IEEE Taansaciconson Magneiccs, 2017, 53(11).[ 7] RopkaP.Advanceson FeuxgaieSensoas[ J] .Sensoas& AciuaioasA

Physical，2003,阴“)：8D4.[ 19] Pececn W, QunycngZ, LuehaoC, eiae.SiudyooCaecbaaicon oo

Single Coro Fully Intearat­

[8 ] Predraa M D, Pavel K, Franck V, et al.

Thaee-axcsFeuxgaieMagneiomeieason Unmanned Heeccopiea[ C ] .

13 ih IEEE InieanaiconaeConoeaenceon EeeciaonccMeasuaemeni&ed CMOS Mocao-oeuxgaieMagneiomeiea[ J] .Sensoas& AciuaioasA

Physica- 2004, II0(IR) : 236-241.

InW/ments (IEEMI) , IEEE, 2018.[ 9] JageaT, Audocn M, BeaangeaM, eiae.MccaooeuxgaieSenKoaKooaHcgh Faequencyand LowPoweaAppeccaiconK[ C] .InieanaiconaeSoe-《微电机》()全年12期，读者可到当地邮局订阅，本刊亦可破订、零购。邮发代号：52-92

订价：8元/期 年价：96元/年

编辑部邮购：120元/年欢迎投稿！欢迎订阅！欢迎刊登广告!国内刊号：CN61-1126/TM国际刊号：ISSN1001-6848邮箱： mccaomoioaK@ecp.Kcna.com址：西安市高新区上林苑四路36号(710117)地电话：029 -842761-806