一种CaCuTiO薄膜的制备方法[发明专利]

来源：花图问答

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专利名称：一种CaCuTiO薄膜的制备方法专利类型：发明专利发明人：林媛,姚光,高敏申请号：CN201610031323.6申请日：20160118公开号：CN105603395A公开日：20160525

摘要：一种CaCuTiO薄膜的制备方法，属于功能材料技术领域。包括以下步骤：1)通过高分子辅助沉积法配制含钙铜钛的前驱液；2)将斜切的LaAlO基片在800～1000℃下热处理1～6小时，得到表面为台阶结构的基片；3)采用旋涂法将前驱液均匀涂覆于步骤2)处理后的基片表面，烘干，得到含钙铜钛的薄膜样品；4)对上步得到的含钙铜钛的薄膜样品热处理，随炉冷却至室温，得到CaCuTiO薄膜。本发明通过不同斜切角度的斜切基片调控CCTO薄膜的应力，使得制得的薄膜的介电损耗明显降低；且方法简单，成本低廉，具有良好的工艺可控性和重复性，有利于大规模批量化生产。

申请人：电子科技大学

地址：611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

国籍：CN

代理机构：电子科技大学专利中心

代理人：吴姗霖

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