扫描晶圆表面图像的方法

来源：花图问答

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200910053375.3 （22）申请日 2009.06.18

（71）申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址 201203 上海市浦东新区张江路18号

（10）申请公布号 CN101929846A

（43）申请公布日 2010.12.29

（72）发明人金灿;陈忠奎

（74）专利代理机构北京德琦知识产权代理有限公司

代理人谢安昆

（51）Int.CI

G01B11/06; H01L21/66;

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

扫描晶圆表面图像的方法

（57）摘要

本发明公开了一种扫描晶圆表面图像的方

法，包括如下步骤：A、根据晶圆的轮廓获取晶圆的轮廓，并设置扫描的基本单元；B、判断当前所要扫描的基本单元是否位于晶圆的边缘，若是将扫描方向调整为从晶圆内向晶圆边缘外的方向；C、按照调整后的方向扫描所述基本单元，扫描完毕后转至步骤B。本发明方案可以解决现有技术

中对晶圆表面扫描时边缘失焦的问题。

法律状态

法律状态公告日

2010-12-29 2011-02-16 2012-05-30

公开

实质审查的生效授权

法律状态信息

公开

法律状态

实质审查的生效授权

权利要求说明书

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说明书

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