专利名称:晶片对准装置专利类型:实用新型专利发明人:池大公,秋園菊申请号:CN201821353717.4申请日:20180822公开号:CN209312738U公开日:20190827
摘要:本实用新型涉及一种晶片对准装置。本实用新型的晶片对准装置包括:载置台,用以安装晶片;旋转驱动装置,使所述载置台旋转;触发产生装置,根据因所述载置台旋转引起的角度变更产生触发信号;相机部,根据所述触发产生装置的触发信号的产生而拍摄晶片的影像;三轴驱动装置,使所述载置台三维地移动;以及控制部,对所述相机部、所述三轴驱动装置及所述旋转驱动装置进行控制。
申请人:EO科技股份有限公司
地址:韩国京畿道安养市东安区东便路91
国籍:KR
代理机构:南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)
代理人:秦秋星
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