维普资讯 http://www.cqvip.com 第18卷 第12期 强 激 光 与 粒 子 束 VoI.18。NO.12 2006年12月 HIG H POWER LASER AND PARTICLE BEAMS DCC.,2006 文章编号:1001—4322(2006)12—2097—04 微焦点源X射线相衬成像技术 刘元琼 , 高党忠 , 刘丽想 , 罗 青 , 叶成钢 (1.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900}2.中国科学院上海应用物理研究所,上海201800) 摘要: 相衬成像方法利用硬x射线对低密度弱吸收物质成像,可获得高衬度图像。用菲涅尔衍射理 论分析了x射线图像的形成机理。在频域中根据光学传递函数,对物像距离、样品空间频率等对图像相位衬 度的影响进行了分析。分辨率和衬度是决定图像可见度的两个依据,分辨率主要依赖于光源的空间相干性,空 间相干性叉决定于源点尺寸.而时间相干性(单色性)是一个不重要的影响因子。利用多色微焦点源实现了x 射线相衬成像技术,获得了有价值的相衬图像。如低原子序数低密度泡沫材料的硬x射线相衬图像,与吸收衬 度成像相比,其图像质量得到了很大提高.能观察到泡沫材料的细微结构,分辨率可达 m量级。 关键词: 相衬成像; 吸收成像; 菲涅尔衍射; 空间相干; 光学传递函数 中图分类号:TN249;TL619 文献标识码: A 在生物科学、材料科学和凝聚态物理学中,广泛地存在一类高度透明的样品——生物切片、晶体切片、凝聚 态和薄膜等。这类样品的结构信息主要地体现在内部折射率或几何厚度的不均匀,而不是光吸收的不均匀,它 们被统称为相位物。在单色平面光照射下,经过相位物后其透射波前的振幅是均匀的,因而其光强分布也是均 匀的,但其相位有一分布。由于肉眼只能感受光强,故这类高度透明的相位物在光的照射下,呈现一片均匀亮 场,无法显示其有价值的相位信息。荷兰科学家泽尼克发明了相衬法,将样品的相位信息通过一种特殊的滤波 器,转化为输出像面上的光强分布,由此制成新型的相衬显微镜,为分析相位型样品提供了一种新的方法L1]。 在惯性约束聚变研究中,需要用到低Z或低密度材料样品,对可见光是不透明的,但对X射线来说,它们可视 为相位物,这类相位物在较高能量x射线照射下,用传统的吸收反衬法成像[2 ],其对比度(或称衬度)很小;因 此需要发展x射线相衬成像技术作为助视手段,用于研究低Z或低密度材料样品的内部结构。 1相衬成像理论 1.1相衬成像方法 如果不考虑相位信息对光强分布的线性调制,只是将不能被直接观察的相位物转化为相关的光强分布,有 多种方法,如暗场法、纹影法、微分法和离焦法等。离焦法是一种无需任何滤波器的方法,只要将成像平面离开 准确像面一段距离就能获得一幅图像,其形貌与原物相位分布相关。 在高能X射线照相中,相移项最高可达吸收项的1 000倍,因此当吸收衬度不够时,可用相位衬度进行观 察。实现X射线相衬成像的主要途径有4种:X射线全息法、X射线干涉法、X射线衍射增强法及离焦法(也称 同轴轮廓成像法),其中只有离焦法允许多色x射线成像,其余3种方法不仅要求x射线源有好的空间相干 性,对光源的时间相干性(单色性)也有较高的要求 ]。因此本实验将用离焦法实现多色硬x射线对弱吸收 材料的相衬成像技术。 1.2离焦法相衬成像理论 首先讨论单色平面波照射情况,假设一薄样品置于z=0平面内,用一束单色平面波exp(ikz)照射,离物较 远处光波场的复振幅根据菲涅尔衍射理论由样品透射函数t(x, )给出,应用小角度旁轴近似从而获得菲涅 尔一基尔霍夫积分 ] - U(x,Y, )= e, ‘ xp(ikz)l.J‘JI ( , )exp{ik[(x— )。+( — )。]/2 )dx dy (1) 该式的物理意义是像平面上某一点的复振幅是物平面上所有点作为子波源在该点的相干叠加,其傅里叶变换 为 *收稿日期:2005—12-27f 修订日捌:2006-06-16 基金项目:中国工程物理研究院科学技术基金资助课题(20040214) 作者简介:刘元琼(1967一),女,副研究员,从事ICF靶参数测量技术研究liuyqcn@163.com。 维普资讯 http://www.cqvip.com 2098 强 激 光 与 粒 子 束 第18卷 【.,(_厂,z)=exp(ikz)丁(,)exp(in2zf ) (2) 式中;U和T分别是U和t的傅里叶变换;变量f表示物平面或像平面上的空间频率;函数exp(i=2 尸)是菲 涅尔衍射的光学传递函数(OTF),可看作一种作用于频率传输的线性滤波器。 透射函数t(x, )可写成 t(x, )一exp[ig(x, )一 (z,3,)] (3) 该式同时表达出样品的吸收和相移分量, 为相位调制, 是常规线性吸收系数 方向投影的一半,如果这两 项都很小,(3)式可近似为 t(x, )=1+ig(x, )一 (z, ) (4) 经过数学演算及一级近似得 【.,(,)≈ (,)一m(f)cosX一 (,)sinX (5) 式中: (,)一 尸; 和 分别是 和 的傅里叶变换sinx和cosX可作成对变量f =( )-/zf的曲线,如图 1所示。 对于相位物体・忽略其吸收效应,且如果f 足够小,sin ≈ ,则(5)式变为 【.,(,)≈ (,)一=Xzf (,) (6) 其强度表达式为 I(x, )≈1+ (z, ) (7) 由(7)式可看出,成像的强度线性相关于相位函数的二阶微分,参见图2。 -1 0 cosY,the amp¨ d e component。 0 5 曼 0 /of, 驴o) ¨ 。。-_=F『碲 毫 。= 吖 o)——L— —]_J_—_1_上+ 一0,5 —1 0 m tL——————————————————————————● —L一 抖 Fig.1 Fresnel diffraction optical transfer Fig.2 First and second derivative function 5 reduced spatial frequency f of the sawtooth type phase function 图1菲涅尔衍射光学传递函数随空间频率的变化 图2锯齿形分布相位函数的微分示意图 根据泊松方程,对于X射线,相位正比于 方向投影电荷密度lD。(z, )[ _5],即 9(x, )=一r。 。(z, ) (8) 式中: 是经典电子半径; 是投影电荷密度。将(8)式代入(7)式得 I(x, )≈1一 ( , ) (9) 因此,图像强度线性相关于投影电荷密度的二阶微分;而波长 仅作为一个乘法因子,对于多色源, 可用谱分 布权重因子代替;系数 r。z/2=具有调制灵敏度的意义,它随 的增加而增加i图像在投影电荷密度有变化的 地方将优先显示,例如,形貌图将显示出边缘增强效应,因此该方法得到的实际上是一个密度变化的轮廓图。 对于较大f ,sinx在,= 7_达到一级最大值,在这个范围附近,sinx ̄1,则有 移(,)≈ (,)一 (,) (1o) I(x, )≈1—29(x, ) (11) 此时,图像的强度线性相关于相位函数本身而不是其二阶微分。 考虑点光源(球面波)照明的情形。设物平面距源有一距离z。,物平面距像平面有一距离 。,方程(9)改写 为 I(Mx,My =击{1一 } (12) 式中:M一(zl-[-g ̄)/ -为放大倍数,与平面波相比,仅差一个放大倍数因子,当 《z。时,M≈1,球面波近似于 维普资讯 http://www.cqvip.com 第12期 刘元琼等:微焦点源X射线相衬成像技术 半面波。 1.3空间相干性 在相衬成像实验中,为了使来自于X射线束中不同部分之间存在干涉效应,需要有良好空间相干性的光 源。完全的相干光源(理想的平面波或点光源)都是假设的,实际上一个平面波会有一个发散角 ,它的横向相 干宽度为 上。C2 / ,这个相干宽度近似于两个物点之间的相干效应能被观察到的最大距离,它并不需要整 个物体被相干照明,只需局域相干照明即可,因此对空间相干性要求不高;对于点光源, J_一 / ,其中 为 2 实验部分 由于在实验室里不易获取X射线平面波,故采用微焦点X光源 作为相衬成像光源口 ,其电压可调范围为0 ̄100 kV,电流为0 ̄250 _ ■X-raytubI A,光源点聚焦最小尺寸为0.5/zm。X射线相衬成像系统见图3, 样品台可3维移动,探测器为X光CCD或X光胶片。 l |sample 1 、 图4(a)为空心单层塑料小球(-a径中55O m,壁厚21.6 m)的 l , ‘ pieflat x射线相衬像,实验中工作电压为90 kV,电流为200 A,z1为130 lmm, z为290 mm,在此条件下光源的相干宽度d上=5.2 m,放大 1 | f 倍数M=3.2。图4(b)为的空心单层塑料微球相应的X射线吸收 ldetec 像。比较图4(a)和4(b)可发现在90 kV高压下低z样品(塑料微 Fig.3 Setup for X—ray phase contrast imaging 球)获得的x射线相衬像衬度非常好,其分辨率可达 m量级,经过 图3 X射线相衬成像系统 一定的软件处理可用于测量微球的壁厚;而相应的吸收像衬度非常弱,几乎无法分辨。图4(c)为含硅CHO泡 沫样品(密度约50 mg/cm。)的X射线相衬像。图4(d)为纯CH泡沫样品(密度约50 rag/cm3)的X射线相衬 像,工作条件与塑料小球相衬成像条件相同,在该条件下无法获得其相应的吸收像,表明在高能X射线照射下 其图像吸收衬度为零,而相位衬度良好,能清晰的观察到泡沫材料的微结构;含硅CHO泡沫为有规律的网状 结构,由于样品制备得非常薄,在其边缘可观察到单个结构被破坏情况;而纯CH泡沫为无规则絮状结构。 3结果与讨论 本文就x射线相衬成像机理进行了阐述,由图1可知,X射线成像的衬度由吸收衬度和相位衬度两部分 (a)X。ray phase contrast image for plastic micro-shell (b)X—ray absorption contrast image for plastic micro.shell (。)x。raY ph 。co”rra。t ge for CHO/Si foam (d)x,ray phase contrast image fnr pure CH f0am Fig.4 X。ray phase contrast image and absorption contrast image for different material 图4 不同材料的X射线相衬像及吸收像 维普资讯 http://www.cqvip.com 21OO 强 激 光 与 粒 子 束 第18卷 组成,对于给定空间频率,一种或另一种衬度将占主导地位;一般情况下,如果样品对x射线的吸收系数较大 如z较大的样品,采用传统的吸收衬度成像较简便易行,只需将物像距离zz尽量趋于零,并根据z的大小选 择相应的X射线能量就能得到一幅衬度良好的图像;而对于低z或低密度等纯相位物来说,由于其对较高能 量X射线的吸收系数几乎微零,只能采用相衬成像方法才能得到高质量的X射线图像。 利用微焦点X射线源实现了对低Z低密度样品的相衬成像,影响图像质量(可见度)的两个因素是分辨率 和对比度。分辨率更大的依赖于光源的空间相干性,实验中采用的微焦点源其最小尺寸为0.5 m,如不考虑 其它因素(如探测器分辨率限制等),分辨率有可能达到亚 m量级。而图像的相衬度主要根据图1所示的光 学传递函数决定,在给定 的情况下,样品中不同的空间频率有不同的衬度;对于给定要分辨的空间频率,, 其衬度随物像距离 :的增加而增加,在到达最大值后随 的增加而减小。因此,对于任何一个空间频率,都 有一个最佳的成像距离,在这个距离上成像其衬度最大。实际样品由多种空间频率组成,且其空间频率不易定 量确定,实验上主要靠改变2 来获得高质量的X射线相衬图像。 参考文献: I-i]钟锡华.现代光学基础[M].北京{北京大学出版社,2003.(Zhong x H.Basic of modern optics.Beijing:Peking University Press,2003) [23刘元琼,罗青,王明达.x射线法测量ICF靶丸参数中表面轮廓法的应用[J].强激光与粒子束,2000,12(1)t 69—71.(Liu Y Q.Luo Q, WangMD.X—raymeasurement ofICFtarget using surface profiler scanning.HighPowerLaser and ParticleBeams,2000,12(1)l69—71) [33高党中.刘元琼,罗青.等.塑料多层靶丸X射线照相技术[J].强激光与粒子束,2004,16(9)。1157—1160.(Gap D Z,Liu Y Q,Luo Q,et a1.X-ray radiograph of multi-layer plastics shel1.High Power Laser and Particle Beams,2004,16(9):1157—1160) [4]Fitzgerald R.Phase-sensitive X—ray imaging[J].Physics Today,2000,53(7)I23—26. 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[93 肖体乔.徐洪杰,陈敏,等.一种新型X射线相衬成像实验系统[刀.核技术.2003,26(10)t1 5.(Xiao T Q,Xu H J,Chen M,et a1.A new type of laboratory system for X—ray phase-contrast imaging.Nuclear Techniques,2003.26(10):1—5) Phase-contrast imaging with micro--focus X--ray source LIO Yuan-qiong ,GAO Dang—zhong ,LIU Li—xiang。,LUO Qing ,YE Cheng-gang (1.Research Center of Laser Fusion,CAEP,P.0.Box 919—987,Mianyang 621900,China; 2.Shanghai Institute of Applied Physics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 201800,China) Abstract: In conventional radiography-X rays which pass through an object along different paths are differentially ab— sorbed,and the intensity pattern of the emerging beam records the distribution of absorbing materials within the sample.A non- conventiona1 X-ray radiography-phase-contrast imaging is described,which records variations of the phase of the emerging radia- tion,shows dramatic contrast enhancement for 1ow density or weakly absorbing materials with hard X-ray.A general treatment of X-ray image formation by Fresnel diffraction theory is presented.According to the optical transfer function.the distance of object- image and spatial frequency on the imaging phase-contrast is discussed.Resolution and contrast are the criteria used to specify the visibility of an image,resolution in turn depends primarily on the spatial coherence of the source,and the spatial coherence in turn is largely determined by the source size,with chromatic coherence of lesser importance.X—ray phase-contrast imaging with broad— band micro-focus source are developed,the phase-contrast images of the low Z or low density samples using hard X-ray are ob— rained.Compared with the absorptlon-contrast image of the same sample,the image quality has been greatly improved.the fine- structure of the samples can be observed distinctly in the phase-contrast images.resolution of a few micrometers is achieved. Key words{transfer function Phase-contrast imaging; Absorption-contrast imaging; Fresnel diffraction; Spatial coherencel Optical