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基于共焦显微技术的大口径非球面谐衍射样品测量装置与方法[发明专利]

来源：花图问答

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：基于共焦显微技术的大口径非球面谐衍射样品测量

装置与方法

专利类型：发明专利

发明人：刘俭,谭久彬,谷康,王宇航,牛斌申请号：CN201610273360.8申请日：20160428公开号：CN105823433A公开日：20160803

摘要：本发明公开了一种基于共焦显微技术的大口径非球面谐衍射样品测量装置与方法，所述装置由共焦显微模块、直线运动平台模块和被测样品构成，所述的共焦显微模块的照明模块按照照明光传播方向依次为：激光器、准直镜、光阑、分光棱镜和物镜；探测模块按照信号光传播方向依次为：物镜、分光棱镜、滤光片、收集透镜、针孔和光电探测器；所述的照明模块、探测模块共用物镜与分光棱镜；所述的直线运动平台模块为气浮直线导轨；所述的被测样品为非球面谐衍射元件的待测样品。本发明首次通过共焦技术进行大口径谐衍射元件轮廓测量，提出了曲面基底台阶高度计算方法，不仅拟合精度高，而且可以进行对宏微结合的复杂面形的测量。

申请人：哈尔滨工业大学

地址：150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

国籍：CN

代理机构：哈尔滨龙科专利代理有限公司

代理人：高媛

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